家,在更换了专门的工作服,又通过除尘、除静电等清洁,最后才进入测试室内。
一众专家一进入测试室内,便被陈列其中的X射线光刻机吸引住。
“黄总工,X射线光刻机的X射线辐射剂量是什么标准?”其中一个专家连忙问道。
这个问题非常重要,X射线的穿透力非常强,如果辐射剂量超标,那员工的身体必然出问题。
“这是辐射剂量检测仪,你们可以测试一下。”
几个专家操作起一台精度超高的环境辐射检测器。
[0.003602mSv]
“好小,只有0.003602毫西弗。”
“其他位置也测试一下。”
其实是由于X射线光刻机的光刻胶光敏性非常高,导致X射线激光器的功率非常小。
加上之前在研发光刻胶的时候,材料研究所制造了一些副产品,其中就有可以吸收X射线的材料。
神光仪器在设计的一开始就非常注意X射线辐射的问题,他们利用这种材料,制造了一些可拆卸的辐射吸收隔板。
这些隔板可以吸收绝大部分散射出来的X射线,从而减少X射线对于周围环境的辐射剂量。
尽管这样做,需要隔一段时间更换一次隔板,但是至少员工不会因此辐射超标。
其实目前这个辐射剂量比医院的X光片(0.1mSv)、CT(2~15mSv),那是小得非常多,就和我们日常看电视受到的辐射剂量差不多。
加上工作人员的防护服也是神光仪器自己改造的产品,可以进一步阻挡X射线,所以这里的环境辐射,和外面环境已经没有太大差别。
“整体符合预期,环境辐射剂量在0.0032~0.0047毫西弗之间。”
负责记录的官方人员连忙将数据记录在表格上面。
接下来才是重头戏,这些专家们借用神光仪器的设备,检测了光刻机的精度以及其他各项参数。
单单是这个工作他们就进行了一个多星期,主要是为了确保万无一失,免得到时候成为一个国际笑话。