第858章第五大发明

轻快的脚步声回响在中关村科技大楼五楼，陈春仙实在无法抑制自己的情绪，空气中倘若有一个旋律传来，他便能翩翩起舞。

受他影响，李建昆也有种哼小曲的冲动。

咔咔！

特制的实木大门被推开，陈春仙领着李建昆走进一间秘密中的秘地。

目前除了这层不对外开放的楼层内、签署过保密协议的工作人员外，无人知晓，此地静静“躺”着一个世界第一。

“看！”

陈春仙激动抬手：“四代光刻机！”

纯白色调的房间居中，有一台体积不小的机器，规模是华夏硅谷公司一年前出品的三代光刻机的近两倍，像一间小房子。

三代光刻机叫作“扫描投影式光刻机”。

这小子说懵的……

那么，老陈说这是全世界第一台第四代光刻机，大抵上没毛病。

直到第五代EUV光刻机的问世。

不在技术上有革命性的创新，无法突破。

在前世，它统治这个领域的时间接近三十年。

反之，如果没有这道灵光乍现，一个小小的问题，或将困住一个科学家一生。

“华夏硅谷公司没启动光刻机项目之前，我国的光刻机水平，距离世界领先，大约有五年时间。”

老陈扬起嘴角：“甩他们二里地，其实，也没那么难。”

四代尽管只多两个字“进步”——进步扫描投影式光刻机，但它却是最具代表性的光刻机产品。

“牛！”

这台光刻机已超出李建昆这个键盘侠，能够看懂的极限，他只能通过键盘侠的知识来判断，如果达到了这种最小工艺，那么它确实是台正儿八经的四代光刻机。

科学研究，许多时候关键性的进展都来自于灵光乍现，好像被苹果砸中后的牛顿，悟出万有引力。

李建昆却知道，这一年来，老陈回家过夜的次数，不超过十次。

你猜怎么着？

陈春仙不是没问过他咋想到的。

“我说过，再给我一年时间，我必定赶上他们。”

暂时没有消息。

可行！

要知道，他家没几步路，从科院离职后，置了套宅子，就在中关村。

他们在研发第四代光刻机时，对于怎么样来突破三代光刻机的桎梏，一筹莫展之际，是建昆提醒：尝试使用一下193nmArF激光光源。

三代光刻机的最小工艺极限是130nm。

坦率讲，陈春仙怀疑过，他可能是外星人……

“别别别。”李建昆怕他又问东问西，赶紧岔开话题，绕着四代光刻机一边转着圈圈，一边作了解。

建昆给他们的还不是灵光乍现，而是或许唯一的标准答案。

不过，他似乎真没觉得辛苦、劳累，全身心投入，乐在其中。

“不。”李建昆说，“你超越了他们。”

李建昆递给老陈一個大拇哥，得亏他有点心理准备，始终关注着华夏硅谷公司这边光刻机的研发进度，否则陡然得知这个消息，难免要一蹦老高。

陈春仙当时极其惊诧，没想到建昆连激光都懂。

“最小工艺推进到了多少？”

我信你个鬼！反正吧，陈春仙发觉他越来越看不穿建昆，这人根本无法用言语来度量——

只有老天爷才知道，彼时实验室里，包括他在内的所有研究人员的震惊。

反正没有头绪嘛，抱着试一下的心态，他们听取建议，使用上193nmArF激光光源。

李建昆早评价过，老陈是一位难得的科研天才，却不适合做一名企业家，实验室才是他的领域和地盘，他的乐土。

“这台机子虽然是我带着团队干出来的，但我不敢说是我创造了它，建昆，首功还得颁给你呀。”

陈春仙的表情颇有些复杂。

“80nm。”

阿麦斯是八十年代哪一年推出的第四代光刻机，李建昆脑子里没有精确的信息，可以肯定的一点是：

老陈单手叉腰说：

“去年，我们制造出第三代光刻机，就技术层级来讲，已经和世界领先持平，仅仅是在尖儿尖儿上，有那么一丁点落后。

这个逼他要装，只能给他装去……

不似人类。

在此之前，无论光刻机技术如何发展，都是在第四代的基础上不断精进。

良久，二人又站在一起。

陈春仙问：“现在要公开吗？”

他有些顾忌。

就公司、个人和团